高精度 图像尺寸测量仪
LM 系列
测量头 LM-1100
规格
型号 | LM-1100 | |||
类型 | 测量头 | |||
拍摄元件 | 1 型 2000 万像素 黑白 CMOS | |||
显示器 | 10.4 型 LCD 显示器(XGA: 1024 × 768) | |||
受光镜头 | 双远心镜头 | |||
图像测量 | 视野 | 广视野测量模式 | 225 mm × 125 mm | |
高精度测量模式 | 206 mm × 106 mm | |||
最小显示单位 | 0.1 µm | |||
重复精度 | 视野内(2σ) | 广视野测量模式 | ±0.5 µm | |
高精度测量模式 | ±0.1 µm | |||
有座标台移动 | X/Y 轴 | ±0.9 µm | ||
XY 平面 | ||||
测量精度 | 视野内(2σ) | 广视野测量模式 | ±2 µm*1 | |
高精度测量模式 | ±0.7 µm*2 | |||
有座标台移动 | X/Y 轴(EUX,MPE、EUY,MPE) | ±(1.8 + 0.02 L) µm*3 | ||
XY 平面(EUXY , MPE) | ±(2.8 + 0.02 L) µm*3 | |||
AF 高度测量 | 重复精度 | ±2 µm | ||
测量精度（EUZ,MPE） | ±(4.8 + 0.04 L) µm*4 | |||
外部遥控输入 | 无源触点输入(有接点/ 无接点) | |||
外部输出 | OK/NG/FAIL/MEAS. | PhotoMOS 输出 | ||
接口 | LAN | RJ-45(10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T) | ||
USB 3.1 | 2 组( 背面 2 组) | |||
USB 2.0 Series A | 4 组( 前面 2 组、背面 2 组) | |||
显示器输出 | DVI-D | |||
存储 | 硬盘驱动器 | 500 GB | ||
照明系统 | 透过 | 远心透过照明 | ||
落射 | 4 分割多角度照明(电动) | |||
外部照明控制 | 光量控制 | PWM 控制 100 kHz | ||
输出电压 | 12 VDC | |||
输出电流 | 1.6 A(最大) | |||
XY 座标台 | 移动范围 | 200 mm × 100 mm(电动) | ||
承受负重 | 7 kg | |||
Z 座标台 | 移动范围 | 75 mm(电动) | ||
电源 | 电源电压 | 100 至 240 VAC ± 10％ (50/60 Hz) | ||
消耗功率 | 430 VA 以下 | |||
环境抗耐性 | 环境温度 | +10 至 35℃*5 | ||
相对湿度 | 20 至 80%RH(无结露) | |||
过电压类别 | Ⅱ | |||
污染等级 | 2 | |||
重量 | 约 30 kg | |||
*1 在 20 mm × 20 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度 +23±1℃ 的情况下 | ||||
