型号

CL-V020N^*1

类型

光学单元

探头

CL-V020 ^*1

基准距离

20 mm

标准设定范围

测量范围

± 1.3 mm

直线性

± 0.45 µm ^*2

高精度测量范围

测量范围

± 0.5 mm

直线性

± 0.38 µm ^*2

分辨率

0.25 µm ^*3

光点直径

ø 20 µm

激光级别

光学单元

Class 1

采样周期

100/200/500/1000 µs(4 段可调)

环境抗耐性

保护结构

探头

IP40　真空用除气结构 ^*4

环境光照

物体面照度 30000 lux(白炽灯)

使用环境温度

探头

-20 至+200°C

光学单元

0 至+50°C

相对湿度

85％ RH 以下（无凝结）

耐振动性

探头

10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小时

光学单元

10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小时

耐冲击性

15G 6 ms

真空

支持超高真空 ^*5

温度特性

探头

0.013% of F.S. /℃ ^*6

光学单元

0.015% of F.S. /℃

材质

探头

SUS304

光学单元

聚碳酸酯

重量

探头

约 100 g

光学单元

约 1600 g