型号

CL-L007N^*1

CL-L015N^*1

CL-L030N^*1

CL-L070N^*1

CL-L150N^*1

图像

类型

光学单元

探头

CL-L007 ^*1

CL-L015 ^*1

CL-L030 ^*1

CL-L070 ^*1

CL-L150 ^*1

基准距离

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

150 mm

标准设定范围

测量范围

± 1.5 mm

± 1.3 mm

± 3.7 mm

± 10 mm

± 35 mm

直线性

± 2.1 µm ^*2

± 0.49 µm ^*2

± 0.94 µm ^*2

± 2.2 µm ^*2

± 5.65 µm ^*2

高精度测量范围

测量范围

± 0.5 mm

± 1.0 mm

± 3.0 mm

± 15 mm

直线性

± 0.91 µm ^*2

± 0.41 µm ^*2

± 0.72 µm ^*2

± 2.0 µm ^*2

± 4.65 µm ^*2

分辨率

0.25 µm ^*3

光点直径

ø 750 µm

ø 300 µm

ø 500 µm

ø 600 µm

ø 1000 µm

激光级别

光学单元

Class 1

采样周期

100/200/500/1000 µs(4 段可调)

环境抗耐性

保护结构

探头

IP67(IEC60529)

环境光照

物体面照度 30000 lux(白炽灯)

环境温度

0 至 50℃

相对湿度

85％ RH 以下（无凝结）

耐振动性

探头

10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小时

光学单元

10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小时

耐冲击性

15G 6 ms

温度特性

探头

0.005% of F.S. /℃

光学单元

0.015% of F.S. /℃

材质

探头

SUS

前部：SUS 后部：铝合金

光学单元

聚碳酸酯

重量

探头

约 140 g

约 180 g

约 200 g

约 280 g

约 380 g

光学单元

约 1600 g

型号

CL-P007N^*1

CL-P015N^*1

CL-P030N^*1

CL-P070N^*1

CL-P150N^*1

图像

类型

光学单元

探头

CL-P007 ^*1

CL-P015 ^*1

CL-P030 ^*1

CL-P070 ^*1

CL-P150 ^*1

基准距离

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

150 mm

标准设定范围

测量范围

± 1.5 mm

± 1.3 mm

± 3.7 mm

± 10 mm

± 35 mm

直线性

± 0.96 µm ^*2

± 0.49 µm ^*2

± 0.94 µm ^*2

± 2.2 µm ^*2

± 5.65 µm ^*2

高精度测量范围

测量范围

± 0.5 mm

± 1.0 mm

± 3.0 mm

± 15 mm

直线性

± 0.55 µm ^*2

± 0.41 µm ^*2

± 0.72 µm ^*2

± 2.0 µm ^*2

± 4.65 µm ^*2

分辨率

0.25 µm

光点直径

ø 50 µm

ø 25 µm

ø 38 µm

ø 50 µm

ø 75 µm

激光级别

光学单元

Class 1

采样周期

100/200/500/1000 µs(4 段可调)

环境抗耐性

保护结构

探头

IP67(IEC60529)

环境光照

物体面照度 30000 lux(白炽灯)

环境温度

0 至 50℃

相对湿度

85％ RH 以下（无凝结）

耐振动性

探头

10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小时

光学单元

10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小时

耐冲击性

15G 6 ms

温度特性

探头

0.005% of F.S. /℃

光学单元

0.015% of F.S. /℃

材质

探头

SUS

前部：SUS 后部：铝合金

光学单元

聚碳酸酯

重量

探头

约 140 g

约 180 g

约 200 g

约 280 g

约 380 g

光学单元

约 1600 g

型号

CL-S015N^*1

CL-V020N^*1

CL-V050N^*1

CL-PT010N^*1

图像

类型

光学单元

探头

CL-S015 ^*1

CL-V020 ^*1

CL-V050 ^*1

CL-PT010 ^*1

基准距离

15 mm

20 mm

50 mm

10 mm

标准设定范围

测量范围

± 1.0 mm

± 1.3 mm

± 4 mm

± 0.3 mm

直线性

± 0.35 µm ^*2

± 0.45 µm ^*2

± 1.4 µm ^*2

± 0.22 µm ^*2

高精度测量范围

测量范围

− 0.2 mm/− 1.0 mm

± 0.5 mm

± 1.6 mm

± 0.15 mm

直线性

± 0.25 µm ^*2

± 0.38 µm ^*2

± 1.3 µm ^*2

± 0.2 µm ^*2

分辨率

0.25 µm ^*3

光点直径

ø 10 µm

ø 20 µm

ø 40 µm

ø 3.5 µm

激光级别

光学单元

Class 1

采样周期

100/200/500/1000 µs(4 段可调)

环境抗耐性

保护结构

探头

IP50

IP40　真空用除气结构 ^*5

IP64(IEC60529)

环境光照

物体面照度 30000 lux(白炽灯)

使用环境温度

探头

-20 至+70°C

-20 至+200°C

0 至+50°C

光学单元

0 至+50°C

相对湿度

85％ RH 以下（无凝结）

耐振动性

探头

10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小时

10 至 57 Hz 多幅振幅 0.45 mm X、Y、Z 方向各 2 小时

光学单元

10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小时

耐冲击性

15G 6 ms

真空

支持真空

支持超高真空 ^*6

无

温度特性

探头

0.005% of F.S. /℃ ^*4

0.013% of F.S. /℃ ^*4

0.015% of F.S. /℃ ^*4

0.1% of F.S. /℃ ^*4

光学单元

0.015% of F.S. /℃

材质

探头

SUS303/304

SUS304

前部：SUS 后部：铝合金

光学单元

聚碳酸酯

重量

探头

约 350 g

约 100 g

约 1100 g

光学单元

约 1600 g