型号

VHX-S650E

XYθ 平台

XY 平台电动／手动

电动

XY 平台移动量

±20 mm

θ 旋转角

±90 度

XYθ 平台尺寸

上方 171×168 mm(中央圆板 ø100)

透过照明观测对应倍率

20 倍以上

Z 平台

Z 平台电动／手动

电动

Z 自动平台马达

5 相步进马达

Z 自动平台移动速度

17 mm／秒(最大)

Z 平台移动量

49 mm

载重

5 kg

XYθ 平台

XY 自动平台马达

2 相步进马达

XY 自动平台分辨率

1 µm(typ.)

XY 自动平台移动速度

10 mm／秒(最大)

Z 平台

Z 自动平台分辨率

0.1 µm(typ.)

电源

电源电压

100 至 240 VAC，50／60 Hz

消耗功率

60 VA

环境抗耐性

环境温度

+5 至 +40 °C

相对湿度

35 至 80 % RH (无凝结)

重量

约 18 kg