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测量传感器的选择
测量目标物的形状。除了有使用点激光测量的1D激光位移计以外,还可以提供通过扫描“面”来捕捉形状,之后抽取截面形状组成3D图形的3D激光位移计。根据不同的测量条件和目标物,测量方法不同,提案的检测方式也𝔍有所变化,如有疑问,请与就近的KEYENCE办事处联系。
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反射
触摸屏的电极形状测量
光切
轮胎的胎面形状测量
白光干涉
蚀刻后的段差测量
透过(不透明)
气囊导管的形状测量
电极的绕卷不规则检测
电极的切割位置检测
晶圆边缘部的形状测量
搬运薄膜时的起伏、褶皱测量
通过光点直径3.5um的小光点扫描,可准确地测量目标物形状。
彩色激光同轴位移计
CL-3000 系列
使用最大宽度为720mm的蓝色激光照射,测量胎面形状。使用多个感测头可对轮胎进行全面测量。
2D/3D 线激光测量仪
LJ-X8000 系列
可同步测量包括镜面体在内的测量区域,消除人为测量误差,缩短检测时间。
干涉式同轴 3D 位移测量仪
WI-5000 系列
可以高速并且连续测量医用气囊导管的形状,实时测量各部分尺寸。
在线投影图像测量仪
TM-X5000 系列
绕卷工序后,检测是否有绕卷不规则。如果是X 轴分辨率为最小🍎2.5μm 的LJ-X8000 系列,可正📖确测量每1 块电极的形状。
将层叠前的电极切割位置反馈到装置。通过正确捕捉电极端部的🎉形状,可高精度地检测边缘位置。通过正确捕捉涂布材料端部的形状,可高精度地检测边缘位置。
测量晶圆边缘部的形状。仅需选择高度差和宽度、角度等测量工具,即可简单测量。另外,通过 3200 point/Profile的超高精细拍摄,实现以往*难以达到的高精度形状测量。
*与本公司LJ-G5000系列产品的比较
以最大宽度720 mm照射蓝色❀激光,测量薄膜的起伏、褶皱。由于CMOS的动态范围宽,也能测量透明工件。
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