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测量传感器的选择
在进行非接触式测量时,可以记录测量数据,从而可以确认设备本身的精度和💙定位。 无论镜面还是非镜面,都可以进行稳定测量。
下载目录
工件测量
槽口位置检测
测量设备本身
钢丝锯的间距测量
定位高精度载物台
切割片的厚度测量
机械手位置测量
蚀刻后的晶圆沟槽深度测量
晶圆边缘部的形状测量
旋涂机的高度测量
研磨后的晶圆厚度测量
铸锭的外径测量
线材轧辊的槽形状测量
传统机型一般*通过一维激光位移计检测槽口的位置。 随着晶圆薄型化发展,出现了翘曲变大后光点无法聚焦的问题。 LJ-X系列通过使用线激光,因此可以应对🌟晶ꦚ圆翘曲引起的位置偏差问题。
*与本公司LK-G3000产品的比较
2D/3D 线激光测量仪
LJ-X8000 系列
随着主滚轮的实时变化和温度变化,钢丝锯的间距会发生变动。 通过定期对钢丝锯进行间距测量,使更换滚轮的时🐻机可视化。
超高速/高精度测微计
LS-9000 系列
通过0.001μm的分辨率进行超高精度测量。 由于感测🌳头不发热,因此可以在温度对周围环境的零影响和由温度漂移引起的零测量误差的情况下进行测量。
微型传感头型分光干涉式 激光位移计
SI-F 系列
切割片的厚度🦩很薄,通常只有几十微米。加工后的刀片可能会出现刀尖🎉缺损的情况,通过定期对刀片的厚度进行测量,可以降低维护所需要的工时。
彩色激光同轴位移计
CL-3000 系列
如果机械手的高度位置发生变化,可能会在晶圆载体中与晶圆产生冲突,并且需要定期测量。 通过使𝄹用大量程传感器探头可以穿过视口进行测量。
超高速/高精度CMOS激光位移传感器
LK-G5000 系列
使用🐽测量显微镜或显微镜进行离线取样。问题是人工测量的位置存在差异,需要花费时间来检查。 WI-5000系列在镜面和透明物体上也可以进行统一测量,因此可避免人为误差,缩短检测时间。
干涉式同轴 3D 位移测量仪
WI-5000 系列
测量晶圆边缘部的形状。仅需选择高度差和宽度、角度等测量工具,即可简单测量。另外,通过 3200 point/Profile的超高精细拍摄,实现以往*难以达到的高精度形状测量。
*与本公司LJ-G5000产品的比较
CL-3000系列采用小型测量头,也易于安装到装置上,即使是硅晶圆等镜面目标物,也可正确地测🐈量距离。
搭载厚度测量时专属的传感头固定夹具及光轴调整功能,实现了出色的高精度厚度测量。即使是表面粗略的晶圆,也能稳定地测量。
使用2个🍃传感头,即使是铸锭等大目标物,也可非接触测量。另外,一边转动一边测量,也可实现全周的外径、真圆度测量。
在线投影图像测量仪
TM-X5000 系列
由于漫反射等原因,很难对光泽强的槽形状进𒀰行非接触测量,但是LJ-X系列搭载抑制这些干扰的自主研发功能,实现稳定的形状测量。
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