光学照明技术 - 同轴落射照明

要观察高度反射的平面物体，如IC和横截面样本，采用环状照明是难以完成的。当❀光线接触表面时，镜头会反射大部分光线，进而形成暗像。与此相反，同轴落射（明视场）照明可观察这些目标物，并生成亮像。一般而言，这种照明需要使用单向透视玻璃，才能匹配照明和镜头的光轴。