3D轮廓测量仪
优点 | 缺点 |
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非接触三维测量仪可使用非接触方式,可替代部分触针式轮廓形状测量仪,擅长毫米至十微米左右的测量,仅需4秒左右即可测量数毫米四方的范围,惊人的便捷性就是它的特点。通过使用白色LED发射特殊的条纹形状光,可高精度实现粗糙度、起伏及形状的测量。配备高灵敏度CMOS,可在扫描的同时拍摄产品的实际外观形貌,能同时进行观察与测量。
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由于原理上🐈需要倾斜照射光线,因此除了无法获取阴影及侧面部分的数据外,还不能用于像激光显微镜及AFM超高精度的测量。