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可靠地对晶圆测试环🥂境进行静电消除。通过在工件附近安装反馈传感器,可以实时监视目标区域的静电消除环境。
可以高速进行大范🔯围静电消除。由于会记录将撕膜产生的静电降到目标值以下的静电消除结果,所以万一需要时可以追溯静电消除的过程。
可以在放电前对剥离裸片时产生的静电高速地进行静电消除。此外,还可以削减传统机型* 🦩必不可少的维护工时。
超高的离子平衡±1 V🍸,可以在各种IC 上放心使用。此外,还可以确认之前的静电消除环境,万一ꦓ需要时还可以确认影响时间段。
通过无风型、节能型静电消除器,有望在尽可能削减工厂空气消耗量的同时,取得优越的静电消除效果。
空气吹淋室的异物带入风险极高,在其中安装静电消除器,可以提升除尘效果。
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