型号

VL-570

类型

测量头

载物台

VL-550、VL-530

控制器

VL-500

投光 光学系统

偏移投光型投影仪模块

受光 光学系统

低倍、高倍偏移双光学模块

照明系统

观察用光源

三色 LED(红色、绿色、蓝色)

测量用光源

蓝色 LED

重复精度(σ)

2 µm^*1

测量精度

±10 µm^*2

测量分辨率

标准测量(4M 模式)

400 万点

高精度测量(16M 模式)

VL-550: 1600 万点^*3
VL-530: —

测量范围

低倍

ø300×H200 mm

高倍

ø70×H50 mm

显示分辨率

0.1 µm^*4

图像拼接功能

自动旋转拼接测量

○

自动 XY 拼接测量

VL-550: ○
VL-530: —

自动 XY 拼接 测量范围

低倍(2×2 合成)

VL-550: ø500×H200 mm
VL-530: —

低倍(3×1 合成)

VL-550: W580×D300×H200 mm^*5
VL-530: —

高倍(2×2 合成)

VL-550: ø110×H50 mm
VL-530: —

高倍(3×1 合成)

VL-550: W150×D70×H50 mm^*5
VL-530: —

载物台

载物台构成

VL-550: 电动 XYθ 载物台构造
VL-530: 电动θ 载物台构造

载物台旋转

360°(无限旋转)

载物台移动范围

VL-550: ø200 mm
VL-530: —

倾斜构造

最大45°

承受负重

VL-550: 50 kg
VL-530: 20 kg

控制用计算机

本公司指定专用 PC(OS 为 Windows^®10)^*6

电源

电源电压

100 至 240 VAC±10％　50/60 Hz

消耗功率

[VL-550] 控制器/ 测量头: 200 VA、载物台: 80 VA
[VL-530] 控制器/ 测量头: 200 VA、载物台: 200 VA

环境抗耐性

使用温度范围

+15 至 +30℃

使用湿度范围

20 至 80%RH，但无凝结

重量

控制器: 3.8 kg
载物台: 26 kg (VL-550) 、25.4 kg (VL-530)
遮光罩: 5.5 kg (VL-550) 、3.6 kg (VL-530)
测量头: 18.5 kg