分光干涉位移型多层膜厚测量仪

SI-T 系列

目录 下载目录

分光单元 SI-T80U

SI-T80U - 分光单元

*请注意,图片中的配件可能不包括在产品中。

技术规格(PDF)

CAD 数据

360°查看 (3D PDF)

软件

  • CE 标志概述

规格

型号

SI-T80U*1

类型

长距离厚度测量型 分光单元

测量范围 (折射率n=1)

0.01 到1.0 mm

参考距离

80 mm*2

测量用光源

红外SLD , 输出1 mW , 1 类激光产品(IEC60825-1)

光束直径

φ25 μm*3

线性度

±0.3 µm*4

分辨率

0.01 µm*5

采样周期

1 ms

扫描范围

扫描周期

LED显示

目标靠近测量中心:绿光。目标在测量范围内:橙光。目标在测量范围外:橙光闪烁。

环境抗耐性

外壳防护级

环境光照

白炽灯、荧光灯:10000 lux 以下

环境温度

0 到+35°C

相对湿度

35 到80%RH(无冷凝)

抗震性

10 到55Hz,XYZ 方向上0.5 mm 双倍振幅,各2 小时

材料

聚碳酸酯

重量

约1.3kg

*1 传感头和分光单元已经配套调整完毕。无兼容性。
*2 表示与传感头正面的距离。会出现最大 ±0.2 mm 的个别差异。
*3 表示测量范围内的最小光束直径。
*4 当测量对象是 2 块玻璃板的间隙厚度,并将平均测量次数设定为 64 次时获得的值
*5 当测量对象是位于测量中心厚度为 t=0.1 mm 🙈的玻璃,并将平均测量次数设定为 4096 次时获得的值

技术规格(PDF) 其他型号