型号

VR-6200

类型

工作头

控制器

VR-6000

观察视野

低倍（大视野）

15 英寸显示器上的倍率 12×

横向

24.0 mm

纵向

18.0 mm

15 英寸显示器上的倍率 25×

横向

12.0 mm

纵向

9.0 mm

15 英寸显示器上的倍率 38×

横向

8.0 mm

纵向

6.0 mm

15 英寸显示器上的倍率 50×

横向

纵向

4.5 mm

高倍（高分辨率）

15 英寸显示器上的倍率 40×

横向

7.6 mm

纵向

5.7 mm

15 英寸显示器上的倍率 80×

横向

3.8 mm

纵向

2.9 mm

15 英寸显示器上的倍率 120×

横向

2.5 mm

纵向

1.9 mm

15 英寸显示器上的倍率 160×

横向

纵向

1.4 mm

变焦

1 至4 倍

高度测量

显示分辨率

0.1 μm

高度测量 范围

无Z 连接

低倍（大视野）: 10 mm
高倍（高分辨率）: 1 mm

有Z 连接

低倍（大视野）: 50 mm
高倍（高分辨率）: 30 mm

重复精度 σ

无Z 连接

0.4 μm ^*1

有Z 连接

1.0 μm ^*1

正确性

无Z 连接

±2.5 μm ^*1

有Z 连接

±4.0 μm ^*1

宽度测量

重复精度σ

低倍（大视野）: 1 μm
高倍（高分辨率）: 0.5 μm
^*1

正确性

低倍（大视野）: ±5 μm
高倍（高分辨率）: ±2 μm
^*1

图像拼接功能

全自动测量（XY 自动控制+Z 自动控制、θ 自动控制）、自动创建MAP 图像、自动设定区域 ^*2

图像拼接功能

电动旋转单元

支持 ^*2

XY 可测量范围

300 × 150 mm ^*2

载物台

XY 行程

278 × 134 mm（电动）

Z 行程

69 mm（电动）

承受负重

4.5 kg

动作距离

75 mm

拍摄元件

1 英寸400 万像素单色CMOS

投光镜头

双远心镜头×2

受光镜头

双远心镜头

照明系统

观察用光源

LED 环形照明（红、蓝、绿）

测量用光源

白色LED

数据处理部

黄金城指定专用电脑（操作系统为Windows 10 Pro）

电源

电源电压

AC100 ～ 240 V ±10％ 50/60 Hz

消耗功率

200 VA 以下

环境抗耐性

环境温度

＋ 15 ～ 30℃

相对湿度

20 至80%RH（无凝结）

重量

约28 kg ^*3