形状测量激光显微系统

形状测量激光显微系统是可以同时进行深焦点深度的观测与三维🎐测量的观测、测量仪器。不受样本大小和材质的限制，并可以在常温环境下进行观测，操作简便且可如光学显微镜般使用。无需对样本进行预处理，还能进行彩色观测，可以准确分析出目标对象的状态。还能观测透明体的膜表面、膜内部和背面，并测量膜形状的厚度。

与SEM 和AFM 相比使用更加方便，但观测倍率和测量分辨率较低。另外，对于高宽比较高的底部或角度较🥀大的斜面，激光反射无法返回，因而不能进行观测、测量🦋。